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五氯乙硅烷（PCDS）

五氯乙硅烷（PCDS）

中文名：五氯乙硅烷
英文名：Pentachlorodisilane
CAS号：31411-98-0
纯度：≥99.0%
用途：通过等离子体加强原子层沉积（PEALD）形成氮化硅
规格：公斤级

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